에이스냉동공조㈜

클린룸

클린룸 개요
설계 FLOW
설계 방향
열원장비
Air Flow Diagram
방식
부대기기

클린룸 개요

오늘날, 산업기술의 발달과 더불어 전자, 반도체, 의료, 식품 및 우주항공산업에 이르기까지 첨단산업분야의 연구 개발과 생산과정에 중대한 방해를 초래하는 실내 공기 중의 부유 세균을 제거하고,부유 미립자가 일정 수준 이하로 관리되는 청정공간이 요구되고 있습니다.

이러한 필요공간의 실내의 압력, 습도, 온도, 정전기, 소음과 진동, 기류의 분포와 속도, 융해가스, 실내 조도 등의 제어 및 관리가 행하여지는 특수한 공간을 크린룸(Clean Room)이라 합니다. 이러한 크린룸(Clean Room)은 반도체 산업뿐만 아니라 전자산업, 정밀기기, 의약품제조, 식품산업, 광학기계, 병원, 실험실 등 광범위한 범위까지 다양하게 적용되고 있습니다.

설계 FLOW

1. 클린룸 조건의 확인·선정 실용적 / 외기상태 / 청정도 / 오염물발생량 / 온습도 / 제조장치사양 청정도 클래스 최적화 / 실내온습도 조건의 최적화 / 휴일, 비가동시 조건 완화, 정지
2. 클린룸 시스템 선정 클린룸 기류방식 / 공기조화 시스템 / 공기정화 시스템 클린룸 환기횟수 저감 또는 가변풍량 채용 / 대온도차 송수 시스템 채용 / 로컬 리턴 방식 채용
3. 실내압력설정·계통분리 실압설정·실압제어방식선정 / 공기조화시스템 계통분리 / 생산기기 배기 계통분리 클린룸 차압의 최적제어 / 설비 배기 자동제어 / 로컬 리턴 방식 채용
4. 레이아웃 검토·필터선정 취출 흡입 배치검토 / 입자제거용 에어필터 선정 / 케미컬 에어필터 선정 저압손 필터 채용
5. 열부하 산출 건물열부하 / 생산기기열부하 / 인체열부하 / 반송동력열부하 생산장비 부하율, 가동율의 정확한 파악
6. 풍량·수량 산출 외기량 / 냉수 온수량 / 순환송풍량 / 가습용증기량 배기/배수의 열회수 / 수가습 적용
7. 청청도 확인 청정도 계산 / 분자식오염물질 농도계산 국소 청정화
8. 기기 선정 순환공조기기 배치용 팬 / 외조기 / 냉온열원기기 / 순환송풍기자동제어방식 고효율 FFU 채용 / 에너지 절감형 외조기 채용 / 수가습 시스템 채용 / 제습냉방 시스템, Heat pump 시스템 채용
9. 에너지절약 대책 계산조건의 재검토 / 시스템기기선정 재검토

설계방향 - 클린룸 4대 원칙

부하계산

다양한 프로그램 (냉난방부하설계, 대한설비공학회, MSP, LG MULTI V)을 이용하여 설계의 정확성을 향상시킵니다.

열원장비 - Multi V 특장점

Air Flow Diagram - Duct Flow Diagram

설계조건에 따른 방식 결정

기류방식에 따른 분류

비단일방향류(난류형)

비단일방향류는 실내에서 발생한 오염물질을 희석하여 배출하므로 압출흐름으로 배출 할 수 없어 청정도는 낮아지지만 설비비용이 낮아지고 장소 확장도 비교적 손쉽다는 장점이 있다.

단일방향류(층류형)

직선적인 기류의 흐름을 유지할 수 있도록 하며 기류 패턴이 공정 중심부에서 가능한 거의 교란되지 않도록 한다.수직형은 주로 반도체 등 전자 산업용 클린룸에 적용되고, 수평형은 수술실등 바이오 클린룸에 주로 적용 된다.

기류방식에 따른 분류 목록
구분	비단일방향류 방식		단일방향류 방식
구분	일반형	벡터형	수직형	수평형
개념도
특징	표준적 클린룸 입실 관리가 청정도 유지에 중요	작업공정 중 필요분만을 고청정도화 상하류 청정도변화 심함	실내 어는 부분에서도 고청정도 확보 입실관리 용이	실내 작업으로 먼지나 균 발생 시 그 장소 보다 하류 역에서 청정도 저하
청정도	ISO 4~8	벡터기류내 ISO 4~7	ISO 1~4	ISO 3~7
주요 적용처	청정공간이 필요한 공정 전반	일부 특수존	일반적인 IC공장	수술실, 무균병실
송풍 방식	센트럴 방식	센트럴 방식 (PAC사용)	센트럴방식 (FFU)	센트럴방식
일반적 환기 횟수	15~80	30~200	300~600	100~300
운전비	저	저	고	중
건설비	저	중	고	고
유지 보수	좋음	좋음	가장 좋음	좋음
유틸리티 공급	바닥 피트나 벽을 이용(벽이용시 먼지 축척 위험)	바닥 피트나 벽이용	이중바닥 내부	바닥 피트 또는 작업대 아래
장치와 레이아웃 유동성	좋음(환기구 고정유의)	어려움	가장 좋음	어려움
Class	클래스 7	클래스 8	클래스 4 ~ 5	클래스 4 ~ 5	클래스 6
풍속(m/s)	-	-	0.25 ~ 0.3	0.45 ~ 0.5	-
환기횟수(회/h)	30 ~ 60	20 ~ 30	200 ~ 600	200 ~ 600	100 ~ 200
취출구	필터 취출구		천정의 80%이상	벽의 80%이상
흡입구	바닥면 근처		바닥의 40%이상, 벽면하부로 부터도 가능	벽의 40%이상,천정으로부터 가능
장점	구조가 간단 설비비가 저렴하다 실의 확장이 비교적 용이 클린룸 고청정도 확보		작업인원, 작업 상태에 좌우 되는 경우가 적다 운전개시 후 즉시 정상상태로 된다 분진의 퇴적,재 부유가 어렵다 관리용이	운전개시 후 즉시 정상상태로 된다 구조가 간단하다
단점	기류가 불규칙하여 오염입자가 실내에서 순환 할 염려가 있다 정상상태로 되기까지 많은 시간이 걸린다 사람, 기기류의 레이아웃, 관리에 주의가 필요하다		천장부 Dead space (조명등) 주의가 필요(난류방지를 위해) 필터 교환이 불편하다 초기 설비비가 비싸다 실의확장이 곤란	상류의 영향이 하류에 미친다 사람, 기기류의 레이아웃, 관리에 주의 설비비가 상당히 높다 실의확장이 곤란