인간과 함께 누리는 "쾌적한 세상" 에이스냉동공조가 준비합니다.
오늘날, 산업기술의 발달과 더불어 전자, 반도체, 의료, 식품 및 우주항공산업에 이르기까지 첨단산업분야의 연구 개발과 생산과정에 중대한 방해를 초래하는 실내 공기 중의 부유 세균을 제거하고,부유 미립자가 일정 수준 이하로 관리되는 청정공간이 요구되고 있습니다.
이러한 필요공간의 실내의 압력, 습도, 온도, 정전기, 소음과 진동, 기류의 분포와 속도, 융해가스, 실내 조도 등의 제어 및 관리가 행하여지는 특수한 공간을 크린룸(Clean Room)이라 합니다. 이러한 크린룸(Clean Room)은 반도체 산업뿐만 아니라 전자산업, 정밀기기, 의약품제조, 식품산업, 광학기계, 병원, 실험실 등 광범위한 범위까지 다양하게 적용되고 있습니다.
다양한 프로그램 (냉난방부하설계, 대한설비공학회, MSP, LG MULTI V)을 이용하여 설계의 정확성을 향상시킵니다.
기류방식에 따른 분류
비단일방향류는 실내에서 발생한 오염물질을 희석하여 배출하므로 압출흐름으로 배출 할 수 없어 청정도는 낮아지지만 설비비용이 낮아지고 장소 확장도 비교적 손쉽다는 장점이 있다.
직선적인 기류의 흐름을 유지할 수 있도록 하며 기류 패턴이 공정 중심부에서 가능한 거의 교란되지 않도록 한다.수직형은 주로 반도체 등 전자 산업용 클린룸에 적용되고, 수평형은 수술실등 바이오 클린룸에 주로 적용 된다.
구분 | 비단일방향류 방식 | 단일방향류 방식 | |||
---|---|---|---|---|---|
일반형 | 벡터형 | 수직형 | 수평형 | ||
개념도 | |||||
특징 |
|
|
|
|
|
청정도 | ISO 4~8 | 벡터기류내 ISO 4~7 | ISO 1~4 | ISO 3~7 | |
주요 적용처 | 청정공간이 필요한 공정 전반 | 일부 특수존 | 일반적인 IC공장 | 수술실, 무균병실 | |
송풍 방식 | 센트럴 방식 | 센트럴 방식 (PAC사용) | 센트럴방식 (FFU) | 센트럴방식 | |
일반적 환기 횟수 | 15~80 | 30~200 | 300~600 | 100~300 | |
운전비 | 저 | 저 | 고 | 중 | |
건설비 | 저 | 중 | 고 | 고 | |
유지 보수 | 좋음 | 좋음 | 가장 좋음 | 좋음 | |
유틸리티 공급 | 바닥 피트나 벽을 이용(벽이용시 먼지 축척 위험) | 바닥 피트나 벽이용 | 이중바닥 내부 | 바닥 피트 또는 작업대 아래 | |
장치와 레이아웃 유동성 | 좋음(환기구 고정유의) | 어려움 | 가장 좋음 | 어려움 | |
Class | 클래스 7 | 클래스 8 | 클래스 4 ~ 5 | 클래스 4 ~ 5 | 클래스 6 |
풍속(m/s) | - | - | 0.25 ~ 0.3 | 0.45 ~ 0.5 | - |
환기횟수(회/h) | 30 ~ 60 | 20 ~ 30 | 200 ~ 600 | 200 ~ 600 | 100 ~ 200 |
취출구 | 필터 취출구 | 천정의 80%이상 | 벽의 80%이상 | ||
흡입구 | 바닥면 근처 | 바닥의 40%이상, 벽면하부로 부터도 가능 | 벽의 40%이상,천정으로부터 가능 | ||
장점 |
|
|
|
||
단점 |
|
|
|
공기순환방식에 따른 분류
클린룸 천장에 HEPA 또는 ULPA 필터가 설치되고 리턴덕트 또는 공기순환유닛 내부에 가압용 축류팬이 설치되어 클린룸으로 청정한 공기를 밀어 넣어주는 방식이다.
리턴되어 순환되는 공기가 외부에서 유입되는 공기와 혼합된 후 클린룸으로 재공급되는 방식으로 공기조화장치에서 클린룸까지 덕트배관으로 연결된 방식을 말한다.
FFU에 내재된 팬에 의해 가압하여 공기를 순환하는 방식으로 클린룸과 상하부 플레넘으로 구성된다. 최근에 신설되는 중·대형 규모의 클린룸에 확산이 많이 되고 있는 방식이다
클린룸에 인원 입실 및 물품 반입, 존(ZONE)별 차압 제어, 그리고 기타 부속, 클린룸의 청정도 유지를 위하여 Air Shower, Pass Box, Clean Unit, Relief Damper, Blower Filter Unit등을 설치